Viktiga genombrott inom laserexfolieringsteknik för stora diamanter

Nyligen släppte Xihu-instrumentet officiellt den högeffektiva laserexfolieringstekniken för storstorleken med en kristall vid den 2: a internationella optoelektroniska integrationsteknologikonferensen (Coint 2025), vilket uppnår genombrott av framsteg i kärnindikatorer som förlustkontroll, bearbetningseffektivitet och processstabilitet, vilket ger nyckelteknisk stöd för industrialiseringen av diamantstuduktionsmaterial.

 

Diamant är känd som "ultimata halvledarmaterial", med materiella egenskaper såsom ultrabrett bandgap, hög värmeledningsförmåga, hög nedbrytningsfältstyrka och hög bärarmättnadsdrifthastighet, vilket gör att det har breda appliceringsutsikter inom fält som kylfläns, halvledare och optik. Det finns emellertid fortfarande många problem som måste lösas brådskande i industrialiseringen av högkvalitativa halvledare diamantmaterial. Diamant tillhör överhåriga material, och för att uppnå skärning och framgångsrik strippning av stora diamanter är traditionella laserskärningstekniker inte bara kostsamma utan också ineffektiva.

 

Som svar på denna smärtpunkt har Xihu-instrumentet starkt fokuserat på att utveckla en praktisk lösning för effektiv och låg förlustproduktion av storstora diamantsubstrat, uppnå ett dubbelt genombrott i effektivitet och förlust, avsevärt minska materialförlust och förkortning av bearbetningstiden. Med behandling av 1- tum diamant som ett exempel är jämförelsen mellan denna tekniska lösning och traditionell laserskärningsteknik som följer:

 

 

Xihu-instrumentet har framgångsrikt löst bearbetningssvårigheterna för ny generation halvledarmaterial som diamant, och kan ge laserstripplösningar kompatibla med upp till 14 tum stora kristaller, vilket ger hjälp för industrialisering och kontinuerlig kostnadsminskning och effektivitetsförbättring av den nya generationen av halvledare och bidrar till verkligheten av oberoende och kontroller av semikledarindustrin och den nya generationen av den nya generationen av halvledare och bidragande till verkligheten av oberoende och kontroller för industriell industriell och den nya generationens "gjorda av den nya generationens" -utveckling av utvecklingen.

 

Laserablation av diamant
I likhet med laser osynlig skärning av halvledare är lasern fokuserad under ytan på diamantprovet för bearbetning och bildar ett grafitmodifierat skikt som kan etsas inuti diamanten. Ytan på diamanten förblir i princip oförändrad, och sedan etsas grafitskiktet genom glödgning, elektrokemisk etsning och andra steg för att uppnå diamantexfoliering.

 

Femtosekund laser används allmänt i högprecision och små storleksmaterialbearbetning på grund av dess ultra korta pulsbredd. Under de senaste åren har det gradvis använts för att studera diamantgrafitisering och mikrostrukturbehandling.